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ARS 闭循环电磁铁探针台

ADVANCED RESEARCH SYSTEMS(ARS)公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测测试灵活,可提供0.6T的水平磁场并配备双极电源。该设备广泛应用于直流(DC),射频(RF),MEMS, 纳米电子,超导性,纳米电路的光电特性,量子点和量子线,非破坏性测试等。

 

该款探针台使用DE204DE210或DE215系列冷头,整个测试过程中无需使用任何制冷剂(液氦/液氮)可根据不同测试要求,选用不同型号冷头,以便样品最低温度到达13K、<10K7K或 <4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头,该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高,固有振动小,是该领域的理想选择。

 

该系统配有硬涂层铝制真空罩和高抛光的无氧铜防热辐射屏。高质的真空器件至关重要,可以使样品获得更高的真空环境,更洁净的表面,更好的电接触。

 

ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能,也利于系统的诊断和服务。

 

上图展示了连接到真空室的4探针。这是桌的侧面,没有显示下面的制冷机。

上图展示了探针台内部的样品空间

应用案例:

• 电磁特性

• 微波特性

• 低频,高频特性

• MEMS

• 纳米电子学

• 超导特性

• 纳米器件光电性能

• 量子点及纳米线

• 单电子

• 低电流物理特性

 

特点

备注

温度范围:< 7K-400K

其他温区可选

样品区0.6T水平磁场

 

样品区振动优于 1微米

 

12英寸×5英寸不锈钢真空室

 

5.5英寸 × 2.875英寸镀镍无氧铜防热辐射屏

 

1英寸方形镀金无氧铜样品台

 

高纯石英观察窗

 

蓝宝石防热辐射屏冷窗

 

多至4个三维微操作探针臂

 

可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂

 

控温系统:高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计(±12mK)、加热器

温度计安装位置:

1、冷头温度计,用于诊断

2、样品台温度计及加热器,用于控制样品台温度,实现精确控温

3、样品温度计,用于精确测量样品温度

4、冷屏温度计及加热器,用于控制加热冷屏温度,实现快速换样

7:1显微观测系统,3微米分辨率,环形光源

可升级16:1显微观察系统

规格及技术参数

 

制冷方式

闭循环制冷,无需液氦

温度范围

7K-400K

(可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 < 4K,安装高温隔热台高温度可达800K)

磁场范围

-0.6T至+0.6T

磁体型号

GMW5403EG

磁场方向水平方向

极面76毫米

水冷需求:2升/分钟,0.8bar

电源:双极型电源

电压±20V

电流±40A

高斯计:LS475DSP

霍尔传感器LS HGCT-3020

温度稳定性

优于50mK

泵抽真空时间

机械泵约45分钟

分子泵约10分钟

降温时间

约2.5小时至10K(DE204P冷头)

真空腔

无磁不锈钢真空腔

12英寸×5英寸

上盖安装高纯石英窗口

防热辐射屏

镀镍无氧铜防热辐射屏

5.5英寸 × 2.875英寸

上盖蓝宝石冷窗

热连接至1级冷头

样品台

镀金无氧铜样品台

1英寸方形

接地(标准)

绝缘(可选)

偏压,通过同轴电缆至外部BNC接头(可选)

偏压到Guard,通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头(可选)

探针臂位移台

手动驱动

不锈钢焊接波纹管连接

X方向(轴向)2英寸行程

Y方向(横向)1英寸行程(标准)

Z方向(垂直方向)0.5英寸行程

刻度10微米

灵敏度5微米

振动

三级减震,振动小于1微米

温度计安装

4个温度计,2套加热器

4个温度计位置:

1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温

1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温

1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断

1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近,用于精确测温

2套加热器位置:

1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温

1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温

显微观测系统

标准7:1显微镜

4.2毫米-0.61毫米视野

工作距离:89毫米

数值孔径:0.024-0.08

光源:环形光源

分辨率:3微米

安装手动三维位移台

高分辨率24英寸显示器

可选16:1显微镜

12.8毫米-0.8毫米视野

工作距离:89毫米

数值孔径:0.0090-0.15

光源:环形光源

分辨率:2微米

安装手动三维位移台

高分辨率24英寸显示器

探针臂

 

直流/低频探针臂

微型同轴电缆

接头:SMA或BNC

频率:0-100兆赫兹

阻抗:50欧姆

包含接地屏蔽接头

三同轴电缆

接头:三同轴接头

频率:0-100兆赫兹

阻抗:50欧姆

卡尔文探针

电缆:同轴或三同轴

接头:SMA/BNC/三同轴

频率:0-100兆赫兹

针尖材料:

钨针(标准)

镀金钨针(可选)

铍铜镀金(可选)

针尖半径:

0.5微米(其他半径可选)

GSG高频探针臂

0-40GHz

接头:K型接头

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

0-50GHz

接头:2.4

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

0-67GHz

接头:1.85

电缆:半刚性同轴电缆

针尖:钨针或铍铜针尖

光纤探针臂

紫外/可见 或 可见/红外

接头:SMA905公头

光纤样品端:抛光裸头

尺寸:100微米-400微米

单模或多模

 

部分ARS产品用户单位
中国科学院物理研究所 厦门大学 中国科学院大连化学物理研究所
中科院理化技术研究所 复旦大学物理系 华南理工大学
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